JP-3000真空磁控溅射镀膜机器人

1.系统简介

JP-3000真空磁控溅射镀膜机器人是一个可以在真空、高温、局部磁场的特殊环境下工作的特殊专用机器人，此次研制为国内首次研制。该机器人操作机为6自由度机器人操作机，由3个直角坐标轴、3个回转轴和一个真空手爪组成，是一种非标型式的机器人,用其来操作磁控靶在特殊恶劣的环境下走出固定的轨迹，完成镀膜作业。

2．技术指标

(1)工具末端最大持重 50Kg
(2)工作范围 3500×1400×900mm
(3)手爪夹持范围 Φ20～Φ60mm
(4)设备极限压力（绝对压力） 2×10-4Pa
(5)设备工作压力（绝对压力） 10-1～9Pa
(6)工作环境温度 120℃
(7)真空室空间 Φ3000×5000mm
(8)真空环境最大工作合成速度 1.5m/min
(9)自由度数（含纵向移动轴） 6
(10)重复定位精度 ±0.5mm

3．应用领域

JP-3000真空磁控溅射镀膜机器人可广泛地应用于天文台、航空航天、军工等各个行业。

4．用户效益分析

采用JP-3000真空磁控镀膜机器人可以极大提高经济效益和工作效率、机器人代替人工，保证镀膜质量，提高工作质量，将装备国内大、中型研究机构，可为国家节省大量外汇。通过分析比较，国产设备相当于进口产品价格的五分之一到三分之一，其市场前景是很可观的，不仅适用于研究机构，还可应用于航空航天、军工等部门，将产生巨大的经济效益和社会效益。

5．供货和服务方式

根据用户需求设计，提供全套系统，负责现场安装调试和培训。